1. Комплексная канструкцыя аптычнага металаграфічнага мікраскопа і атамна-сілавога мікраскопа, магутныя функцыі
2. Ён мае як аптычны мікраскоп, так і атамна-сілавы мікраскоп, абодва з якіх могуць працаваць адначасова, не ўплываючы адна на адну
3. Можа працаваць у звычайным паветраным асяроддзі, вадкім асяроддзі, асяроддзі кантролю тэмпературы і асяроддзі кантролю інэртнага газу адначасова
4. Стол для сканавання ўзораў і галоўка лазернага выяўлення спраектаваны ў закрытым тыпе, і спецыяльны газ можа запаўняцца і разраджацца ўнутры, без дадання ўшчыльняльнай вечка
5. Лазерны дэтэктар мае вертыкальную канструкцыю аптычнага шляху і можа працаваць пад вадкасцю з трымальнікам зонда падвойнага прызначэння газ-вадкасць
6. Узор аднавосевага прывада аўтаматычна набліжаецца да зонда вертыкальна, так што кончык іголкі скануецца перпендыкулярна ўзору
7. Інтэлектуальны метад падачы іголкі аўтаматычнага выяўлення п'езаэлектрычнай керамікі пад ціскам з кіраваннем рухавіком абараняе зонд і ўзор
8. Сістэма аптычнага пазіцыянавання звышвысокага павелічэння для дасягнення дакладнага пазіцыянавання зонда і вобласці сканавання ўзору
9. Інтэграваны рэдактар карыстальніка з нелінейнай карэкцыяй сканера, нанаметровыя характарыстыкі і дакладнасць вымярэнняў лепш за 98%
Тэхнічныя характарыстыкі:
Рэжым працы | сэнсарны рэжым, рэжым крана |
Неабавязковы рэжым | Трэнне/бакавая сіла, амплітуда/фаза, магнітная/электрастатычная сіла |
крывая спектру сіл | Крывая сілы FZ, крывая RMS-Z |
Дыяпазон сканавання XY | 50 * 50 мкм, па жаданні 20 * 20 мкм, 100 * 100 мкм |
Дыяпазон сканавання Z | 5um, неабавязкова 2um, 10um |
Дазвол сканавання | Па гарызанталі 0,2 нм, па вертыкалі 0,05 нм |
Памер выбаркі | Φ≤68mm, H≤20mm |
Прыклад сцэнічнага падарожжа | 25*25 мм |
Аптычны акуляр | 10X |
Аптычны аб'ектыў | 5X/10X/20X/50X план апахраматычных аб'ектыў |
Спосаб асвятлення | Сістэма асвятлення LE Kohler |
Аптычная факусоўка | Грубая ручная факусоўка |
Камера | Датчык CMOS на 5 Мп |
дысплей | 10,1-цалевы плоскі дысплей з функцыяй вымярэння графікаў |
Ацяпляльнае абсталяванне | Дыяпазон рэгулявання тэмпературы: пакаёвая тэмпература ~ 250 ℃ (неабавязкова) |
Гарачая і халодная інтэграваная платформа | Дыяпазон рэгулявання тэмпературы: -20 ℃ ~ 220 ℃ (неабавязкова) |
Хуткасць сканавання | 0,6 Гц-30 Гц |
Вугал сканавання | 0-360° |
Аперацыйнае асяроддзе | Аперацыйная сістэма Windows XP/7/8/10 |
Інтэрфейс сувязі | USB2.0/3.0 |