1
2. Прылада для пазіцыянавання зонда, карэкціроўка выраўноўвання лазерных плям вельмі проста
3. Узор дыскаў-дыскаў аўтаматычна набліжаецца да зонда па вертыкалі, так што наканечнік іголкі перпендыкулярны да сканавання ўзору
4. Інтэлектуальны метад кармлення іголкі, які кантралюецца рухавіком, п'езаэлектрычны керамічны аўтаматычнае выяўленне абараняе зонд і ўзор
5. Аўтаматычнае аптычнае пазіцыянаванне, не трэба засяроджвацца, назіранне ў рэжыме рэальнага часу і размяшчэнне зоны праверкі зонда
6,
7. Сметал экранаваная гукаізаляцыйная скрынка, убудаваная высокадакладная датчык тэмпературы і вільготнасці, маніторынг працоўнага асяроддзя ў рэжыме рэальнага часу
8. Інтэграваны сканер нелінейных карэкцыі рэдактара карыстальніка, характарыстыка нанаметра і дакладнасць вымярэнняў лепш за 98%
| Рэжым працы | Рэжым сэнсарнага рэжыму, націсніце |
| Неабавязковы рэжым | Трэнне/бакавая сіла, амплітуда/фаза, магнітная/электрастатычная сіла |
| Крывая сілы спектру | Крывая сілы FZ, крывая RMS-Z |
| Дыяпазон сканавання XY | 20*20um, неабавязковы 50*50um, 100*100um |
| Z дыяпазон сканавання | 2,5um, неабавязковы 5um, 10um |
| Дазвол сканавання | Гарызантальны 0,2 нм, вертыкальны 0,05 нм |
| Памер узору | Φ≤90 мм, h≤20мм |
| Прыкладныя сцэнічныя падарожжы | 15*15 мм |
| Аптычнае назіранне | 4x аптычны аб'ектыў/2,5um дазвол |
| Хуткасць сканавання | 0,6 Гц-30 Гц |
| Кут сканавання | 0-360 ° |
| Працоўнае асяроддзе | Аперацыйная сістэма Windows XP/7/8/10 |
| Інтэрфейс сувязі | USB2.0/3.0 |
| Удар-паглынальны дызайн | Вясновая падвешаная/металічная экранаваная скрынка |
