1. Лазерная галоўка выяўлення і этап сканавання ўзору інтэграваныя, структура вельмі стабільная, а антыінтэрферэнцыя высокая
2.Прылада дакладнага пазіцыянавання зонда, рэгуляванне выраўноўвання лазернай плямы вельмі простая
3. Узор аднавосевага прывада аўтаматычна набліжаецца да зонда вертыкальна, так што кончык іголкі знаходзіцца перпендыкулярна ўзору сканавання
4. Інтэлектуальны метад падачы іголкі аўтаматычнага выяўлення п'езаэлектрычнай керамікі пад ціскам з кіраваннем рухавіком абараняе зонд і ўзор
5.Аўтаматычнае аптычнае пазіцыянаванне, адсутнасць неабходнасці факусоўкі, назіранне ў рэжыме рэальнага часу і пазіцыянаванне зоны сканавання ўзору зонда
6.Спружынная падвеска супрацьударны метад, просты і практычны, добры супрацьударны эфект
7. Металічная экранаваная гукаізаляцыйная скрынка, убудаваны высокадакладны датчык тэмпературы і вільготнасці, маніторынг працоўнага асяроддзя ў рэжыме рэальнага часу
8.Інтэграваны рэдактар нелінейнай карэкцыі сканера, нанаметровыя характарыстыкі і дакладнасць вымярэнняў вышэй за 98%
| Рэжым працы | сэнсарны рэжым, рэжым крана |
| Неабавязковы рэжым | Трэнне/бакавая сіла, амплітуда/фаза, магнітная/электрастатычная сіла |
| крывая спектру сіл | Крывая сілы FZ, крывая RMS-Z |
| Дыяпазон сканавання XY | 20*20ум, па жаданні 50*50ум, 100*100ум |
| Дыяпазон сканавання Z | 2,5 мкм, дадаткова 5 мкм, 10 мкм |
| Дазвол сканавання | Па гарызанталі 0,2 нм, па вертыкалі 0,05 нм |
| Памер выбаркі | Φ≤90mm, H≤20mm |
| Прыклад сцэнічнага падарожжа | 15*15 мм |
| Аптычнае назіранне | 4X аптычны аб'ектыў/раздзяленне 2,5 мкм |
| Хуткасць сканавання | 0,6 Гц-30 Гц |
| Вугал сканавання | 0-360° |
| Аперацыйнае асяроддзе | Аперацыйная сістэма Windows XP/7/8/10 |
| Інтэрфейс сувязі | USB2.0/3.0 |
| Амартызуе дызайн | Спружынная падвешаная/металічная экранаваная скрынка |
